导向器: 博士。呃杨 

实验室员工:

博士后学者
博士。 kyungnam kang. (2013-当前)
博士来自路易斯安那州立大学
研究:2D材料

 

设备

多用户Microdevice实验室(MDL)位于AG体育的800平方英尺的洁净室内。以下设备可在设施内提供: 

完整的光刻系统,包括掩模对准器(Karl Suss MA6),纳米压印器(纳尼曲面),旋转涂布机/干燥机(入门研究),溶剂长凳(清洁空气产品),湿蚀刻台(清洁空气产品),层罩,加热板系统( Alpha MultiSerfices),烤箱(alpha多服务)和表面处理(O2等离子体)可用。

对于表征,环境扫描电子显微镜(SEM,FEI),原子力显微镜(AFM,太平洋纳米技术)和小角度X射线散射(SAXS,Brucker Nanostar)也可用。

为了沉积,安装物理气相沉积(PVD,牙顿真空),热蒸发器(LADD研究),溅射涂布机(PELCO)和分子气相沉积(施加MST)。另外,深反应离子蚀刻器(DRIE,BMRTEK),XEF2蚀刻器(XACTIX)和电感耦合等离子体蚀刻器(ICP,BMRTEK)可与其他测试设备(如显微镜(尼康)和探针站(Signatone)提供。

光刻

  • 热板
  • 对流烤箱:Barnstead Lab-Line等级100洁净室内烤箱
  • 旋转涂布机:前往研究PWM32-PS-R790
  • 面罩对齐器:Karl Suss Microtec MA6 / BA6
  • 湿凳:清洁空气产品
  • NanoImprintor:Nanonex NX-1000

湿蚀刻

  • 湿凳:清洁空气产品

干蚀刻

  • XEF2蚀刻器:Xactix XECH E1
  • 深反应离子蚀刻器(DRIE):BMR技术DSE200 

沉着

  • 热蒸发器:LADD研究长丝蒸发器
  • 物理气相沉积(PVD):DNTON真空探险器14 
  • 分子气相沉积(MVD):施加MST
  • 深硅蚀刻器
  • 电感耦合等离子体蚀刻器(ICP):BMR技术披过ICP - 蚀刻器模块 

表征

  • 显微镜
  • 扫描电子显微镜(SEM):Quanta Feg 450(高VAC,低VAC,ESEM模式)
  • 原子力显微镜(AFM):太平洋纳米技术(安捷伦技术)纳米R2
  • 小角度X射线散射(萨克斯):Bruker Nanostar
  • 探头站:半峰半导体表征系统:Keithley 4200

MDL设备概述