多用户微型实验室(MDL)容纳一个800平方英尺洁净室AG体育内。

Students at computer in the microdevice lab

任务

该微实验室(MDL)是一个多用户机构设施,其宗旨是提供尖端的纳米加工及表征设施,以支持研究,然后研究所的教育计划。其还提供了实践的研究机会,本科生和研究生。

微型实验室能力

光刻

掩模对准器,旋涂机,nanoimprintor,烘烤炉,湿式工作台,显微镜

设备测试

探针台,SEM,AFM,SAXS,显微镜

Etch & Deposition

DRIE,ICP,XeF 2的蚀刻,湿蚀刻长椅,PVD,热蒸发器,MVD