微型实验室
多用户微型实验室（MDL）容纳一个800平方英尺洁净室AG体育内。
任务
该微实验室（MDL）是一个多用户机构设施，其宗旨是提供尖端的纳米加工及表征设施，以支持研究，然后研究所的教育计划。其还提供了实践的研究机会，本科生和研究生。
微型实验室能力
光刻
掩模对准器，旋涂机，nanoimprintor，烘烤炉，湿式工作台，显微镜
设备测试
探针台，SEM，AFM，SAXS，显微镜
Etch & Deposition
DRIE，ICP，XeF 2的蚀刻，湿蚀刻长椅，PVD，热蒸发器，MVD
